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- 使用电感耦合等离子体发射光谱仪过程中会遇到各种问题，人们需要有针对性地解决问题，在这之前需要分析产生问题的原因，通过更改参数或控制气体及样品的流速来缓解问题，来获得更准确的数据结果。
等离子温度过高或过低可以从几个方面进行分析，载气的压力增大或流速降低都会导致等离子体的温度增加，温度同时也会受到输入频率以及功率的影响。等离子体温度影响样品对光线的吸收，需要设定在一定范围内，超过标准可以通过调节几个部分进行控制。实验结果出现偏差则可以先从这个角度进行分析。原子状态的样品通过等离子体时容易发生电离，使实验结果偏小，可以通过降低等离子体温度或者加入易电离物质则可以减少这部分误差，提高结果准确度。
实验结果误差较大还有可能是因为实验中有酸性物质引入，酸性越强的物质的对实验的干扰越大，要尽量避免有强酸进入仪器。可以对样品进行预处理，所用到的仪器中包括旋转蒸发器等，降低样品的酸度有利于实验的顺利进行，得到比较清晰的光谱图，也能尽可能防止酸性物质对仪器内部的腐蚀，避免仪器损伤。
实验开启之前需要对仪器进行校对，防止因为各种原因导致的数据出现偏差。配置多款标准液，根据结果画出曲线图，观察曲线图的走向，如果有规律可言就说明仪器没有故障问题如果曲线的走向杂乱无章，可以从多方面考虑问题，毛细管堵塞、废液排放堵塞等都可能影响结果。校正的数据可以根据仪器的新旧程度进行选择，新购买的仪器可以多选取几组数据进行校正。
